NIMS微細加工プロセスデータベースMiNaPro
Research-Support Management System in NIMS Nanofabrication Platform
ユーザーレベルより下位のデータが閲覧可能です。
（例）ULv3のユーザー ： DLv1, 2, 3が閲覧可能
☆☆☆ユーザーレベル（ULv）☆☆☆
ULv1：ユーザー登録者
ULv2：利用実績保有者（単年度利用）
ULv3：利用実績保有者（継続利用）
ULv4：MiNaProデータ提供者
ULv5：NIMS微細加工PFスタッフ
★★★データレベル（DLv）★★★
DLv1：成膜プロセスデータ
DLv2：露光プロセスデータ
DLv3：エッチングプロセスデータ
DLv4：応用・特殊プロセスデータ
DLv5：技術代行支援データ
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利用マニュアルはこちらから
(MiNaPro Manual)
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