研究支援管理システム - NIMS微細加工プラットフォーム

交換依頼は【bisaikakou[at]ml.nims.go.jp】にメール
※ターゲット交換は「技術代行(２時間)」です
※i-Millerは「木曜日」にターゲット交換を行います
※UT=User's Target, <Empty>=Accepting order

[11/19 - ] Ti, Au, SiO2, ITO
[11/15 - 11/18] UT1, Cr, Au, UT2
[11/5 - 11/11] UT1, Nb2O5 , SiO2, <Empty>
[10/29 - 11/4] Ti, Au, SiO2, Al
[10/25 - 10/28] UT1, Au, ITO, UT2
[10/15 - 10/22] Ti, Au, ITO, Al
[10/8 - 10/14] UT1, Cr, UT2, Al
[10/1 - 10/7] Ti, Cr , SiO2, UT
[9/24 - 9/30] UT1, Cr, UT2, Al
[9/17 - 9/22] Ti, Nb2O5, SiO2, Al
[9/10 - 9/16] Ti, Au, UT, Ni
[8/27 - 9/9] Ti, Au, SiO2, UT
[8/20 -8/26] Ti, Au, SiO2, ITO
[8/6 -8/19] Al, UT1, UT2, Ni
[7/30 -8/5] Ti, Au, SiO2, Al
[7/22 -7/29] Cr, UT1, UT2, Ni
[7/8 -7/21] Ti, Au, SiO2, Ni
[6/25 -7/7] Ti, Au, SiO2, Al
[6/4 - 6/24] Ti, Au, ITO, Ag
[4/1 - 6/3] Ti, Au, SiO2, Al

No.1: Ti
No.2: Cr
No.3: Au (Ta liner)
No.4: Ni
No.5: Ag
No.6: Pt
No.7: Cu
No.8: Pd
No.9: User's
No.10: AuGe
No.11: SiO2
No.12: MgO
※Updated July 16, 2021

交換依頼は【bisaikakou[at]ml.nims.go.jp】にメール
※ターゲット交換は「技術代行(２時間)」です
※j-Sputterは「金曜日」にターゲット交換を行います
※UT=User's Target, <Empty>=Accepting order

[11/15 - ] <Empty>, <Empty>, UT1, <Empty>
[11/8 - 11/11] Al, Pt, W, Au
[11/1 -11/5 ] <Empty>, <Empty>, <Empty>, <Empty>
[10/25 - 10/29] SiN, Ti, SiO2, Au
[10/18 - 10/22] Al2O3, Pt, SiO2, Au
[10/11 - 10/15] Al2O3, Pt, SiO2, Au
[10/4 - 10/8] Ta2O5, Ti , SiN, Au
[9/21 - 10/1] Ag, Ti, Si, Au
[9/9 - 9/17] SiN, Ti, SiO2, Au
[9/6 - 9/8] Ti, Ni, SiN, Au
[8/30 - 9/3] Ti, Ni, SiO2, Au
[8/6 - 8/27] ITO, Ag, SiO2, Au
[8/2 - 8/5] ITO, Pt, Si, Au
[7/19 - 7/30] UT, Ti, SiO2, Au
[7/12 - 7/16] ITO, Pt, Si, Au
[6/14 - 7/9] Al, Ag, Si, Au
[5/24 - 6/11] Ta2O5, Ti, Si, Au
[5/17 - 5/21] Ta2O5, Ti, SiN, Au
[5/10 - 5/14] Ta2O5, Ti, SiO2, Au
[4/19 - 5/7 ] ITO, Ti, Ag, Au
[4/12 - 4/16] Al, Ni, Ag, Au
[4/5 - 4/9] UT(Ru)，UT(Co)，Cu，Mo
[4/1 - 4/2] Ta2O5, Ni, SiO2, Au

NIMS微細加工プラットフォーム研究支援管理システム

Research-Support Management System in NIMS Nanofabrication Platform