ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
※原則木曜日にi-Millerのターゲット交換を行います。

[6/4 - ]Ti, Au, ITO, Ag
[4/1 - 6/3]Ti, Au, SiO2, Al
No.1: Ti
No.2: Cr
No.3: Au (Ta liner)
No.4: Ni
No.5: Cu
No.6: Pt
No.7: Au (BN liner)
No.8: Pd
No.9: User's
No.10: AuGe
No.11: Au (W liner)
No.12: MgO
※Updated June 8, 2021
 
ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
※金曜日にターゲット交換を行います。

[6/14 - ]Al、Ag、Si、Au
[5/24 - ]Ta2O5, Ti, Si, Au
[5/17 - 5/21]Ta2O5, Ti, SiN, Au
[5/10 - 5/14]Ta2O5, Ti, SiO2, Au
[4/19 - 5/7 ]ITO, Ti, Ag, Au
[4/12 - 4/16]Al, Ni, Ag, Au
[4/5 - 4/9]Ru(USER's),Co(USER's),Cu,Mo
[4/1 - 4/2]Ta2O5, Ni, SiO2, Au



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