ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
[11/11 - ] Ti, Au, Ag, Ni
[10/28 - 11/8] Ti, Au, Ta, Al
[10/21 - 10/25] Ti, Au, SiO2, W
[10/10 - 10/18] Ti, Au, Cu, Si
[10/1 - 10/9] Ti, Au, SiO2, Al
ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
[10/16 - ] Ti / Al / Au / Ni
[ 7/22 -10/15] Ti / Al / Au / Mo
[ 3/18 - 7/19] Ti / Al / Au / W
 
ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
[11/18 - ] Mo, Cr, SiO2, W
[11/11 - 11/15] ITO, Cu, SiO2, Au
[11/6 - 11/8] Ta, Cu, SiO2, Au
[10/28 - 11/1] Sn(USERs), Ti, Si, Zn
[10/21 - 10/25] ITO, Ti, Au, Ag
[10/15 - 10/18] Ni, Ti, Au, Ag
[9/30 - 10/11] Al, Ti, Si3N4, Ag
[9/24 - 9/27] SnO2-La2O3(USERs), Ti, SnO2-Nd2O3(USERs), Ag
[9/17 - 9/20] Ru(USERs), Ti, Al2O3, Au
[9/2 - 9/13] Ni, Ti, Au, Ag
[8/26 - 8/30] SnO2-La2O3(USERs), Ti, SnO2-Nd2O3(USERs), Ag
[8/7 - 8/23] ITO, Ag-Nd(USERs), SnO2-Nd2O3(USERs), Ag
[8/5 - 8/6] ITO, Ti, SnO2-La2O3(USERs), Ag
[7/29 - 8/2] Ni, Ti ,SnO2(USERs), Au
[7/22 - 7/26]CCTO(USERs), Ag-Nd(USERs), SnO2(USERs), Co(USERs)
[7/16 -7/19] CCTO(USERs), Ti , SnO2(USERs), Au
[7/8 - 7/12] Al2O3, Ag, SnO2(USERs), Ti
[7/5 - 7/5] Al2O3, W, ZnO, Ti
[7/1 - 7/4] Al2O3, Co(USERs), ZnO, Ti
[6/24 - 6/28] Ru(USERs), Co(USERs), SiO2, Ti
[6/17 - 6/21] ITO, Ag, SnO2(USERs), Ti
[6/03 - 6/14] CCTO(USERs), Ag, SnO2(USERs), Cr
[5/27 - 5/31]Ta, Ag, SnO2(USERs), W
[5/20 - 5/24]Ta, Ti, SiO2, W
[4/22 - 5/17]Ta, Cu, SiO2, Au
[4/12 - 4/19]Al-2%Nd, Ti, SiO2, W
[4/8 - 4/11]ITO, Ti, SiO2, Au




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