Research-Support Management System in NIMS Nanofabrication Platform
ターゲット交換は「技術代行(２時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
[4/1 - ]Ti, Au, SiO2, Al
No.1: Ti
No.2: Cr
No.3: Au (Ta liner)
No.4: Ni
No.5: Cu
No.6: Pt
No.7: Au (BN liner)
No.8: Pd
No.9: Ag
No.10: AuGe
No.11: Au (W liner)
No.12: MgO
※Updated April 9, 2021
ターゲット交換は「技術代行(２時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
ターゲット交換は「技術代行(２時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
[4/19 - ]ITO, Ti, Ag, Au
[4/12 - 4/16]Al, Ni, Ag, Au
[4/5 - 4/9]Ru(USER's)，Co(USER's)，Cu，Mo
[4/1 - 4/2]Ta2O5, Ni, SiO2, Au
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