ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
[4/1 - 5/15]Ti, Au, ITO, Al
[5/18 - ]Ti, Au, SiO2, Al
ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
[4/01 - ] Fe / BN / Ni / SiO2
 
ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
[6/1 - ]Al, Ti, Cu, Ag
[4/1 - 5/29]CaO(USERs), Ti, Cu, Pt



NIMS微細加工プラットフォームへのリンク
NIMS Nanofabrication Platformへのリンク