ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。

[3/1 - ]Ti, Au, SiO2, Al
[2/22 - 2/26 ]Ti, Au, SiO2, Si
[1/25 - 2/19 ]Ti, Au, SiO2, Nb(USERs)
[1/18 - 1/22 ]Ti, Au, SiO2, BN(USERs)
[1/11 - 1/15 ]Ti, Au, SiO2, Al
[1/4 - 1/8 ]Ti, Au, Nb(USERs), Al
[12/21 - 12/25 ]Ti, Au, SiO2, Al
[12/14 - 12/18 ]Ti, Au, Nb(USERs), BN(USERs)
[11/24 - 12/11 ]Ti, Au, Nb(USERs), Al
[7/27 - 11/20 ]Ti, Au, Si, Al
[7/13 - 7/22 ]Ti, Au, NiO(USERs), Al
[5/18 - 6/26 ]Ti, Au, SiO2, Al
[4/1 - 5/15 ]Ti, Au, ITO, Al
■UHVスパッタは共用終了となりました。
■The shared use of the UHV sputter has ended.
 
ターゲット交換は「技術代行(2時間)」です。
※交換依頼はライセンス取得者が行ってください。
[3/1 - ]Ag,Ti,ITO,Au
[2/1 - 2/26 ]Al,Ti,Cu,Au
[1/4 - 1/29 ]Al,Ti,Al-2%Nd,Au
[12/14 - 12/24]Ni,Mo,Cr,Au
[12/7 - 12/11]Al,Ti,Al-2%Nd,Au
[11/30 - 12/4 ]Ru(USERs),Cu, Ta,Co(USERs)
[11/24 - 11/27]Al,Ti,Ag,Au
[11/17 - 11/20]Ni,Ti,Cr,Au
[11/9 - 11/12]Ru(USERs),Cu, Ta,Co(USERs)
[10/26 - 11/5 ]Ni, Mo, Ag, Au
[9/14 - 10/23]Ta2O5, Ti, SiO2, Al
[9/1 - 9/11 ]Ta2O5, Ti, SiO2, Au
[8/24 - 8/28 ]Al, Ti, SiO2, Cu
[8/17 - 8/21 ]Ta2O5, Ti, SiO2, Au
[7/27 - 8/5 ]Ag, Ti, SiO2, Au
[7/6 - 7/22 ]Nb2O5(USERs), Cu, SiO2, Au
[6/29 - 7/5 ]Ru(USERs), Cu, Ta, Au
[6/22 - 6/26 ]Ag, Ti, Ta, Au
[6/8 - 6/19 ]Ru(USERs), Ti, Ta, Au
[6/1 - 6/5 ]Al, Ti, Cu, Ag
[4/1 - 5/29 ]CaO(USERs), Ti, Cu, Pt



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