No.1: Al
No.2: Ti
No.3: Ni
No.4: Cr
No.5: Pt
No.6: Au
No.7: AuGe
No.8: User's Pd
No.9: User's Cu
No.10: User's In
No.11: SiO2
No.12: MgO
※Updated January 5, 2022
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交換依頼は【bisaikakou[at]ml.nims.go.jp】にメール
※ターゲット交換は「技術代行(２時間)」です
※j-Sputterは「金曜日」にターゲット交換を行います
※UT=User's Target, <Empty>=Accepting order
[1/24 - ] <Empty>,<Empty>,<Empty>,<Empty>
[1/17 - 1/21 ] SiN, Ti, Al2O3, Ir
[1/11 - 1/14 ] SiN, Ti, Al2O3, Ir
[12/24 -1/7] SiN, Ti, SiO2, Au
[12/20 - 12/23 ] ITO, Ti, Ni, Au
[12/13 - 12/17] Ir ,Ti , Ni, Au
[12/6 -12/10] SiN, Al, Al2O3, Si
[11/29 -12/3] SiN, Ni, SiO2, Au
[11/22 - 11/26] SiN, ITO, SiO2 , Al
[11/15 - 11/19] Si, ITO, UT1, Au
[11/8 - 11/11] Al, Pt, W, Au
[11/1 -11/5 ] Al, Ti, SiO2, Au
[10/25 - 10/29] SiN, Ti, SiO2, Au
[10/18 - 10/22] Al2O3, Pt, SiO2, Au
[10/11 - 10/15] Al2O3, Pt, SiO2, Au
[10/4 - 10/8] Ta2O5, Ti , SiN, Au
[9/21 - 10/1] Ag, Ti, Si, Au
[9/9 - 9/17] SiN, Ti, SiO2, Au
[9/6 - 9/8] Ti, Ni, SiN, Au
[8/30 - 9/3] Ti, Ni, SiO2, Au
[8/6 - 8/27] ITO, Ag, SiO2, Au
[8/2 - 8/5] ITO, Pt, Si, Au
[7/19 - 7/30] UT, Ti, SiO2, Au
[7/12 - 7/16] ITO, Pt, Si, Au
[6/14 - 7/9] Al, Ag, Si, Au
[5/24 - 6/11] Ta2O5, Ti, Si, Au
[5/17 - 5/21] Ta2O5, Ti, SiN, Au
[5/10 - 5/14] Ta2O5, Ti, SiO2, Au
[4/19 - 5/7 ] ITO, Ti, Ag, Au
[4/12 - 4/16] Al, Ni, Ag, Au
[4/5 - 4/9] UT(Ru)，UT(Co)，Cu，Mo
[4/1 - 4/2] Ta2O5, Ni, SiO2, Au |
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