NIMS所属の方へ

ご利用前の確認事項について

  • 利用者が非居住者・特定類型該当者の場合は、事前にご相談ください
  • 利用者全員がNIMS職員番号を保有していることをご確認ください
  • 利用料金はNIMS予算(外部資金含む)からのお支払いとなります
  • 課題責任者は、定年制職員・ICYS研究員・NIMSポスドク研究員等になります
  • 1件の課題申請で複数名(課題参画者最大30名)利用することができます
  • 利用報告は課題終了後に課題責任者がARIMの指定様式で行います
  • RDEシステムへのプロセスデータ登録をお願いいたします

料金システムの詳細について

ARIM事業におけるデータ提供について

  • NIMSが運用管理するRDEシステムに微細加工プロセスデータを登録していただきます
  • 装置利用後、都度プロセス条件等を所定の様式に記入し、RDEシステムに登録します
  • 登録されたデータは最長2年間の公開猶予後にARIM事業内で共有されます

ARIM事業の詳細について

利用の流れについて

1. 利用相談

ホームページの「利用相談」からお願いいたします。後日オンラインで打合せを行います。

2. 課題申請手続き

NIMSワークフローシステムにて研究課題番号を取得してください。詳細は下記ページを参照ください。

NIMSワークフローシステム

3. ユーザー登録

課題責任者及び施設利用者は全員R2システムからユーザー登録を行ってください。

R2システム

4. 課題登録

NIMSワークフローで取得した研究課題番号等をR2システムに登録してください(課題責任者)

5. 課題参画者登録

R2システムにて課題参画者を登録してください

6. 施設利用開始

オペトレ日程等を担当スタッフと調整してください

問い合わせ先

このページに関するお問い合わせはNIMS微細加工オープンファシリティです。

メールでのお問い合わせはこちら
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  • 【更新日】2023年3月13日
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