ご利用前の確認事項について
- 利用者が非居住者・特定類型該当者の場合は、事前にご相談ください
- 利用者全員がNIMS職員番号を保有していることをご確認ください
- 利用料金はNIMS予算(外部資金含む)からのお支払いとなります
- 課題責任者は、定年制職員・ICYS研究員・NIMSポスドク研究員等になります
- 1件の課題申請で複数名(課題参画者最大30名)利用することができます
- 利用報告は課題終了後に課題責任者がARIMの指定様式で行います
- RDEシステムへのプロセスデータ登録をお願いいたします
ARIM事業におけるデータ提供について
- NIMSが運用管理するRDEシステムに微細加工プロセスデータを登録していただきます
- 装置利用後、都度プロセス条件等を所定の様式に記入し、RDEシステムに登録します
- 登録されたデータは最長2年間の公開猶予後にARIM事業内で共有されます
利用の流れについて
1. 利用相談
ホームページの「利用相談」からお願いいたします。後日オンラインで打合せを行います。
2. 課題申請手続き
NIMSワークフローシステムにて研究課題番号を取得してください。詳細は下記ページを参照ください。
3. ユーザー登録
課題責任者及び施設利用者は全員R2システムからユーザー登録を行ってください。
4. 課題登録
NIMSワークフローで取得した研究課題番号等をR2システムに登録してください(課題責任者)
5. 課題参画者登録
R2システムにて課題参画者を登録してください
6. 施設利用開始
オペトレ日程等を担当スタッフと調整してください