外部利用料金単価表

NIMS微細加工共用設備 利用料金表(大企業)*1

2025年7月1日から適用(税抜)

  ARIM利用
(データ提供あり)*2
ARIM利用
(データ提供なし)
非公開利用
装置リスト 機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行  機器利用 技術補助 技術代行
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] ¥30,500 ¥38,500 なし ¥58,000 ¥74,000 ¥90,000 ¥75,400 ¥96,200 ¥117,000
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] ¥19,500 ¥27,500 なし ¥36,000 ¥52,000 ¥68,000 ¥46,800 ¥67,600 ¥88,400
レーザー描画装置 [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150] 
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2]
イオンビームミリング複合装置 [16IBE]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
¥14,000 ¥22,000 なし ¥25,000 ¥41,000 ¥57,000 ¥32,500 ¥53,300 ¥74,100
その他装置 *3 ¥8,500 ¥16,500 なし ¥14,000 ¥30,000 ¥46,000 ¥18,200 ¥39,000 ¥59,800

NIMS微細加工共用設備 利用料金表(中小企業)*1

2025年7月1日から適用(税抜)

  ARIM利用
(データ提供あり)*2
ARIM利用
(データ提供なし)
非公開利用
装置リスト 機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行  機器利用 技術補助 技術代行
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] ¥25,000 ¥31,400 なし ¥30,500 ¥38,500 ¥46,500 ¥39,650 ¥50,050 ¥60,450
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] ¥16,200 ¥22,600 なし ¥19,500 ¥27,500 ¥35,500 ¥25,350 ¥35,750 ¥46,150
レーザー描画装置 [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150] 
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2]
イオンビームミリング複合装置 [16IBE]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
¥11,800 ¥18,200 なし ¥14,000 ¥22,000 ¥30,000 ¥18,200 ¥28,600 ¥39,000
その他装置 *3 ¥7,400 ¥13,800 なし ¥8,500 ¥16,500 ¥24,500 ¥11,050 ¥21,450 ¥31,850

NIMS微細加工共用設備 利用料金表(スタートアップ企業・アカデミア)*1

2025年7月1日から適用(税抜)

  ARIM利用
(データ提供あり)*2
ARIM利用
(データ提供なし)
非公開利用
装置リスト 機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行  機器利用 技術補助 技術代行
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] ¥14,000 ¥17,200 なし ¥19,500 ¥24,300 ¥29,100 ¥25,350 ¥31,590 ¥37,830
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] ¥9,600 ¥12,800 なし ¥12,900 ¥17,700 ¥22,500 ¥16,770 ¥23,010 ¥29,250
レーザー描画装置 [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150] 
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2]
イオンビームミリング複合装置 [16IBE]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
¥7,400 ¥10,600 なし ¥9,600 ¥14,400 ¥19,200 ¥12,480 ¥18,720 ¥24,960
その他装置 *3 ¥5,200 ¥8,400 なし ¥6,300 ¥11,100 ¥15,900 ¥8,190 ¥14,430 ¥20,670

*1 大企業:資本金1億円超の民間企業、中小企業:資本金1億円以下の民間企業、スタートアップ企業:別途お問い合わせください
*2 装置を予約する際に「データ登録あり」を選択し、RDEシステムにデータ登録したときにのみ適用されます
*3 一部の装置において、ARIM利用(データ提供あり)の設定がありません

備考

  1. 上表は1時間当たりの料金単価(税抜)であり、これに利用時間(※)を乗じ、消費税を加算します
  2. 15分未満の利用については15分として算出し、以後15分単位で利用料金を算出します
  3. 「機器利用」は、機器利用ライセンス取得後、利用者のみで装置を使用する利用形態です
  4. 「技術補助」は、機器利用ライセンス取得のために、操作トレーニングを受ける利用形態です
  5. 「技術代行」は、来所困難な利用者の代わりに、一部の加工プロセスを代行する利用形態です
  6. 「技術補助・技術代行」の単価には、装置利用料金が含まれます
    ※利用時間は、装置予約時間(=装置占有時間:装置の立ち上げ/終了作業時間含む)です

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  • 【更新日】2025年7月3日
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