NIMS微細加工共用設備 利用料金表（大企業）*1
2024年4月1日から適用（税抜）
| ARIM利用 （データ提供あり）*2 |
ARIM利用 （データ提供なし） |
非公開利用 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 装置リスト | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 |
| 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] |
¥29,500 | ¥37,500 | なし | ¥57,000 | ¥73,000 | ¥89,000 | ¥74,100 | ¥94,900 | ¥115,700 |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] | ¥18,500 | ¥26,500 | なし | ¥35,000 | ¥51,000 | ¥67,000 | ¥45,500 | ¥66,300 | ¥87,100 |
| レーザー描画装置 [DWL66+] マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] マスクレス露光装置 [MLA150] ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1] 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2] FE-SEM+EDX [S-4800] FE-SEM+EDX [SU8000] FE-SEM+EDX [SU8230] |
¥13,000 | ¥21,000 | なし | ¥24,000 | ¥40,000 | ¥56,000 | ¥31,200 | ¥52,000 | ¥72,800 |
| その他装置 *3 | ¥7,500 | ¥15,500 | なし | ¥13,000 | ¥29,000 | ¥45,000 | ¥16,900 | ¥37,700 | ¥58,500 |
NIMS微細加工共用設備 利用料金表（中小企業）*1
2024年4月1日から適用（税抜）
| ARIM利用 （データ提供あり）*2 |
ARIM利用 （データ提供なし） |
非公開利用 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 装置リスト | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 |
| 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] |
¥24,000 | ¥30,400 | なし | ¥29,500 | ¥37,500 | ¥45,500 | ¥38,350 | ¥48,750 | ¥59,150 |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] | ¥15,200 | ¥21,600 | なし | ¥18,500 | ¥26,500 | ¥34,500 | ¥24,050 | ¥34,450 | ¥44,850 |
| レーザー描画装置 [DWL66+] マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] マスクレス露光装置 [MLA150] ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1] 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2] FE-SEM+EDX [S-4800] FE-SEM+EDX [SU8000] FE-SEM+EDX [SU8230] |
¥10,800 | ¥17,200 | なし | ¥13,000 | ¥21,000 | ¥29,000 | ¥16,900 | ¥27,300 | ¥37,700 |
| その他装置 *3 | ¥6,400 | ¥12,800 | なし | ¥7,500 | ¥15,500 | ¥23,500 | ¥9,750 | ¥20,150 | ¥30,550 |
NIMS微細加工共用設備 利用料金表（スタートアップ企業・アカデミア）*1
2024年4月1日から適用（税抜）
| ARIM利用 （データ提供あり）*2 |
ARIM利用 （データ提供なし） |
非公開利用 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 装置リスト | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 |
| 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] |
¥13,000 | ¥16,200 | なし | ¥18,500 | ¥23,300 | ¥28,100 | ¥24,050 | ¥30,290 | ¥36,530 |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] | ¥8,600 | ¥11,800 | なし | ¥11,900 | ¥16,700 | ¥21,500 | ¥15,470 | ¥21,710 | ¥27,950 |
| レーザー描画装置 [DWL66+] マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] マスクレス露光装置 [MLA150] ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1] 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2] FE-SEM+EDX [S-4800] FE-SEM+EDX [SU8000] FE-SEM+EDX [SU8230] |
¥6,400 | ¥9,600 | なし | ¥8,600 | ¥13,400 | ¥18,200 | ¥11,180 | ¥17,420 | ¥23,660 |
| その他装置 *3 | ¥4,200 | ¥7,400 | なし | ¥5,300 | ¥10,100 | ¥14,900 | ¥6,890 | ¥13,130 | ¥19,370 |
*1 大企業：資本金1億円超の民間企業、中小企業：資本金1億円以下の民間企業、スタートアップ企業：別途お問い合わせください
*2 装置を予約する際に「データ登録あり」を選択し、RDEシステムにデータ登録したときにのみ適用されます
*3 一部の装置において、ARIM利用（データ提供あり）の設定がありません
備考
- 上表は1時間当たりの料金単価(税抜)であり、これに利用時間(※)を乗じ、消費税を加算します
- 15分未満の利用については15分として算出し、以後15分単位で利用料金を算出します
- 「機器利用」は、機器利用ライセンス取得後、利用者のみで装置を使用する利用形態です
- 「技術補助」は、機器利用ライセンス取得のために、操作トレーニングを受ける利用形態です
- 「技術代行」は、来所困難な利用者の代わりに、一部の加工プロセスを代行する利用形態です
- 「技術補助・技術代行」の単価には、装置利用料金が含まれます
※利用時間は、装置予約時間（＝装置占有時間：装置の立ち上げ／終了作業時間含む）です
