NIMS微細加工共用設備 利用料金表（大企業）*1
（税抜）
| ARIM利用 （データ提供あり）*2 |
ARIM利用 （データ提供なし） |
非公開利用 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 装置リスト | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 |
| 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] |
¥27,000 | ¥34,500 | なし | ¥52,000 | ¥67,000 | ¥82,000 | ¥67,600 | ¥87,100 | ¥106,600 |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] | ¥17,000 | ¥24,500 | なし | ¥32,000 | ¥47,000 | ¥62,000 | ¥41,600 | ¥61,100 | ¥80,600 |
| レーザー描画装置 [DWL66+] マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] マスクレス露光装置 [MLA150] ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] FE-SEM+EDX [S-4800] FE-SEM+EDX [SU8000] FE-SEM+EDX [SU8230] |
¥12,000 | ¥19,500 | なし | ¥22,000 | ¥37,000 | ¥52,000 | ¥28,600 | ¥48,100 | ¥67,600 |
| その他装置 *3 | ¥7,000 | ¥14,500 | なし | ¥12,000 | ¥27,000 | ¥42,000 | ¥15,600 | ¥35,100 | ¥54,600 |
NIMS微細加工共用設備 利用料金表（中小企業）*1
（税抜）
| ARIM利用 （データ提供あり）*2 |
ARIM利用 （データ提供なし） |
非公開利用 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 装置リスト | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 |
| 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] |
¥22,000 | ¥28,000 | なし | ¥27,000 | ¥34,500 | ¥42,000 | ¥35,100 | ¥44,850 | ¥54,600 |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] | ¥14,000 | ¥20,000 | なし | ¥17,000 | ¥24,500 | ¥32,000 | ¥22,100 | ¥31,850 | ¥41,600 |
| レーザー描画装置 [DWL66+] マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] マスクレス露光装置 [MLA150] ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] FE-SEM+EDX [S-4800] FE-SEM+EDX [SU8000] FE-SEM+EDX [SU8230] |
¥10,000 | ¥16,000 | なし | ¥12,000 | ¥19,500 | ¥27,000 | ¥15,600 | ¥25,350 | ¥35,100 |
| その他装置 *3 | ¥6,000 | ¥12,000 | なし | ¥7,000 | ¥14,500 | ¥22,000 | ¥9,100 | ¥18,850 | ¥28,600 |
NIMS微細加工共用設備 利用料金表（アカデミア）*1
（税抜）
| ARIM利用 （データ提供あり）*2 |
ARIM利用 （データ提供なし） |
非公開利用 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 装置リスト | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 |
| 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] |
¥12,000 | ¥15,000 | なし | ¥17,000 | ¥21,500 | ¥26,000 | ¥22,100 | ¥27,950 | ¥33,800 |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] | ¥8,000 | ¥11,000 | なし | ¥11,000 | ¥15,500 | ¥20,000 | ¥14,300 | ¥20,150 | ¥26,000 |
| レーザー描画装置 [DWL66+] マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] マスクレス露光装置 [MLA150] ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] FE-SEM+EDX [S-4800] FE-SEM+EDX [SU8000] FE-SEM+EDX [SU8230] |
¥6,000 | ¥9,000 | なし | ¥8,000 | ¥12,500 | ¥17,000 | ¥10,400 | ¥16,250 | ¥22,100 |
| その他装置 *3 | ¥4,000 | ¥7,000 | なし | ¥5,000 | ¥9,500 | ¥14,000 | ¥6,500 | ¥12,350 | ¥18,200 |
*1 資本金1億円超の民間企業は大企業、1億円以下の民間企業は中小企業、大学等・公的研究機関はアカデミアとなります
*2 装置を予約する際に「データ登録あり」を選択し、RDEシステムにデータ登録したときにのみ適用されます
*3 一部の装置において、ARIM利用（データ提供あり）の設定がありません
備考
- 上表は1時間当たりの料金単価(税抜)であり、これに利用時間(※)を乗じ、消費税を加算します
- 15分未満の利用については15分として算出し、以後15分単位で利用料金を算出します
- 「機器利用」は、機器利用ライセンス取得後、利用者のみで装置を使用する利用形態です
- 「技術補助」は、機器利用ライセンス取得のために、操作トレーニングを受ける利用形態です
- 「技術代行」は、来所困難な利用者の代わりに、一部の加工プロセスを代行する利用形態です
- 「技術補助・技術代行」の単価には、装置利用料金が含まれます
※利用時間は、装置予約時間（＝装置占有時間：装置の立ち上げ／終了作業時間含む）です
