| 装置リスト |
データ提供あり及びデータ提供非対応 | データ提供なし | ||||
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| 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | 機器利用 | 技術補助 | 技術代行 | |
| 電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] 電子ビーム描画装置 [ELS-F125] |
￥11,000 | ￥14,200 | ￥17,400 | ￥16,500 | ￥21,300 | ￥26,100 |
| 電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100] | ￥6,600 | ￥9,800 | ￥13,000 | ￥9,900 | ￥14,700 | ￥19,500 |
| レーザー描画装置 [DWL66+] マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] マスクレス露光装置 [MLA150] ICP-RIE装置 [RV-APS-SE] 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #1] 低ダメージ精密エッチング装置 [Spica #2] FE-SEM+EDX [S-4800] FE-SEM+EDX [SU8000] FE-SEM+EDX [SU8230] |
￥4,400 | ￥7,600 | ￥10,800 | ￥6,600 | ￥11,400 | ￥16,200 |
| その他装置 | ￥2,200 | ￥5,400 | ￥8,600 | ￥3,300 | ￥8,100 | ￥12,900 |
※2024年4月1日より適用（税抜）
備考
- 上表は1時間当たりの料金単価(税抜)であり、これに利用時間(※)を乗じ、消費税を加算します
- 15分未満の利用については15分として算出し、以後15分単位で利用料金を算出します
- 「機器利用」は、機器利用ライセンス取得後、利用者のみで装置を使用する利用形態です
- 「技術補助」は、機器利用ライセンス取得のために、操作トレーニングを受ける利用形態です
- 「技術代行」は、来所困難な利用者の代わりに、一部の加工プロセスを代行する利用形態です
- 「技術補助・技術代行」の単価には、装置利用料金が含まれます
※利用時間は、装置予約時間（＝装置占有時間：装置の立ち上げ／終了作業時間含む）です
