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コンタクトアライナー、コンタクトマスクアライナー、水銀ランプ、Contact Aligner, Contact Mask Aligner

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基板クリーニング、Substrate Cleaning

スパッター、成膜、金属膜、酸化膜、酸化物、スパッタリング、Film Deposition, Metal Films, Oxide Films, Sputtering

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ALD、Atomic Layer Deposition,

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応力制御、Stress Control,

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RTA、Rapid Thermal Annealer,

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電子顕微鏡、Scanning Electron Microscope

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AFM、SPM、AMF, Atomic Force Microscope, Scanning Probe Microscope

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カラーレーザー、Color Laser,

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薄膜測定、Thin Film Measurement, Film Thickness Measurement,

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電気特性、IV、CV、Electrical Properties Measurement, Electrical Characteristic Measurement

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ウェッジボンダー、Au、Al、Wedge Bonder

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切断、基板カット、チップ化、Substrate Cutting, Chips

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